中山潔凈烘箱
中山潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
一．中山潔凈烘箱用途:
PVC無塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
二．中山潔凈烘箱特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*佳溫度控制精度。
三．中山潔凈烘箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
1.主要技術(shù)指標(biāo)：
無塵等級(jí)：Class
100; 溫度范圍： 60～ +300℃；
溫度均勻度：200℃±4℃;
溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作尺寸：W800×D600×H1300
電源：380v , 50Hz，15KW
網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))
潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理
HEPA過濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。*小限度控制風(fēng)速距離。
M計(jì)裝可編程控制
1模式20步驟，*多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。
簡(jiǎn)單操作的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)裝
標(biāo)準(zhǔn)配置定值運(yùn)行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設(shè)定動(dòng)作的程序運(yùn)行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過升防止器。
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型號(hào)
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溫度范圍
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內(nèi)容積
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其它參數(shù)
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內(nèi)尺寸
（W×H×Dmm）
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外尺寸
（W×H×Dmm）
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PVC-178
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(RT+60)～+200℃
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178L
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潔凈度：100級(jí)
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580×530×580
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770×1,280×1,025
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PVC-380
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(RT+60)～+200℃
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380L
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潔凈度：100級(jí)
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580×1130×580
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770×1,880×1,025
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PVC-678
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(RT+60)～+200℃
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678L
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潔凈度：100級(jí)
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800×1130×750
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1,030×1,880×1,025
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PVHC-178
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(RT+60)～+350℃
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178L
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潔凈度：100級(jí)
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580×530×580
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770×1,280×1,025
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PVHC-380
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(RT+60)～+350℃
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380L
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潔凈度：100級(jí)
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580×1,130×580
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770×1,880×1,025
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PVHC-678
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(RT+60)～+350℃
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678L
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潔凈度：100級(jí)
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800×1,130×750
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1030×1,880×1,210
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PVHC-347MS
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(RT+60)～+300℃
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347L
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潔凈度：100級(jí)
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580×1,130×530
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770×1,880×1,025
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PVHC-633MS
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(RT+60～+300℃
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633L
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潔凈度：100級(jí)
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800×1,130×700
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1,030×1,880×1,210
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2、箱體結(jié)構(gòu)：
烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
內(nèi)膽材料：采用上等SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
中桶材料：采用上等SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
3、溫控系統(tǒng)：
采用臺(tái)灣“宣榮”CAHO溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定，**度±0.3%FS。；
訊號(hào)來源：采用PT100熱電阻±0.5%。
輸出被控制組件：SSR無接點(diǎn)訊號(hào)輸出。
4、完善的**保護(hù)措施：
漏電斷路器、 控制線路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置、 電熱過電流保護(hù)裝置、
馬達(dá)過電流保護(hù)、 機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示 逆向防止器、 門面**開關(guān)
5、選購設(shè)備(需另外收費(fèi))：
可程式溫控器 無紙記錄儀 三色指示燈 烘烤架
注:無塵等級(jí)和尺寸可根據(jù)要求定制。
宏展科技擁有一個(gè)專業(yè)從事環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備研發(fā)的科研機(jī)構(gòu)，具備成熟的環(huán)試研制手段與試驗(yàn)室，聚集了行業(yè)內(nèi)一批優(yōu)良的各類人才和知名專家，強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)**著國內(nèi)環(huán)試技術(shù)發(fā)展方向．現(xiàn)目前公司具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高低溫試驗(yàn)箱、高低溫濕熱試驗(yàn)箱、快速溫度變化試驗(yàn)箱、冷熱沖擊試驗(yàn)箱、三綜合試驗(yàn)箱、高低溫低氣壓試驗(yàn)箱、太陽輻射試驗(yàn)箱、工業(yè)烤箱以及步入式高低溫濕熱試驗(yàn)箱和高風(fēng)速淋雨試驗(yàn)箱等氣候環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備及訂制產(chǎn)品處于國內(nèi)**、國際高水準(zhǔn)。
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