行星齒輪傳動裝置的重量，一般情況下正比于齒輪的重量，而齒輪的重量與其材料和熱處理硬度有很大關系。例如在相同功率下，滲碳淬火齒輪的重量將是調質齒輪重量的1/3左右。所以針對行星齒輪減速機的結構特點和齒輪的載荷性質，伺服行星減速機廣泛采用硬齒面齒輪。獲得硬齒面齒輪的熱處理方法很多，如表面淬火，整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應根據行星齒輪減速機的特點考慮選定。

　　1、表面淬火

　　常見的表面淬火方法有高頻淬火（對小尺寸齒輪）和火焰淬火（對大尺寸齒輪）兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時，其效果*好。表面淬火常用材料為碳的質量分數約0.35%~0.5%的鋼材，齒面硬度可達45~55HRC。

　　2、滲碳淬火

　　滲碳淬火齒輪具有相對*大的承載能力，但必須采用精加工工序（磨齒）來消除熱處理變形，以保證精度。

　　滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的質量分數為0.2%~0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58%~62%HRC的范圍內。若低于57HRC時，齒面強度顯著下降，高于62HRC時則脆性增加。輪齒心部硬度一般以310~330HBW為宜。滲碳淬火齒輪的硬度，從輪齒表面至深層應逐漸降低，而有效滲碳深度規定為表面至深層應逐漸降低，而有效滲碳深度規定為表面至硬度52.5HRC處的深度。

　　滲碳淬火在輪齒彎曲疲勞強度方面的作用除使心部硬度有所提高外，還在于有表面的殘余壓應力，它可使輪齒*大拉應力區的應力減小。因此磨齒時不能磨齒根部分，滾齒時要用留磨量滾刀。

　　3、滲氮

　　采用滲氮可保證輪齒在變形*小的條件下達到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后可不再進行*后的精加工，提高了承載能力。這對于不易磨齒的內齒輪來說，具有特殊意義。

　　4、想嚙合齒輪的硬度組合

　　當大、小齒輪均為軟齒面時，小齒輪的齒面硬度應高于大齒輪。而當兩輪均為硬齒面且硬度較高時，則取兩輪硬度相同。