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Model 單軸MEMS加速度計是低功耗、低噪音、低成本的集成加速度計。其內(nèi)部包含了微機械電容傳感單元、溫度傳感器、傳感運放電路和差分輸出電路，所有部件密封在一個迷你包裝中。產(chǎn)品有L（QFN）和J（PLCC）兩種封裝形式。
特點：
密封電容、微機械化、氮化、防潮功能
低噪音、內(nèi)部溫度傳感、±4V差分輸出、全校準功能
技術(shù)
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量程
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±2g
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±5g
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±10g
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±25g
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±50g
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±100g
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±200g
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單位
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頻率響應(yīng)
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0 - 400
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0 - 600
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0 -1000
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0 -1500
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0 -2000
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0 - 2500
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0 - 3500
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Hz
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靈敏度
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2000
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800
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400
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160
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80
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40
|
20
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mV/g
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輸出噪聲
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5
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7
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10
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25
|
50
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100
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200
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u g/(root Hz)
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振動
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2000
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g
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其他參數(shù)
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參數(shù)
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*小值
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典型值
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*大值
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單位
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交叉軸靈敏度
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2
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3
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%
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偏置標定誤差
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-002
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2
|
4
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% of FSO
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-005 thru -200
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1
|
2
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偏置溫漂
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-002
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100
|
300
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% of FSO
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-005 thru -200
|
|
50
|
200
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非線性
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-002 thru -050
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0.3
|
0.5
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% of FSO
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-100 & -200
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0.5
|
1.0
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比例因子校準誤差
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1
|
2
|
%
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比例因子溫漂
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+300
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ppm/°C
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電源抑制比
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25
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dB
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輸出阻抗
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90
|
|
Ω
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工作電壓
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4.75
|
5
|
5.25
|
V
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工作電流
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10
|
14
|
mA
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重量
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0.62
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克
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